Miniaturowe pompy próżniowe to pompy wykorzystujące gaz jako główne medium robocze. Nadające się do długotrwałej-pracy na biegu jałowym i pracy na sucho. Wytwarzają podciśnienie (podciśnienie), napędzając membranę, która zasysa i odprowadza gaz za pomocą-ruchu posuwisto-zwrotnego napędzanego silnikiem. Urządzenia te posiadają zarówno dysze ssące, jak i wylotowe. Do modeli specjalistycznych zaliczają się-dwufunkcyjne modele ssące/rozprężające oraz modele wodno-gazowe, które można dostosować do różnych warunków pracy.
Podstawowe elementy obejmują pompę membranową i regulator podciśnienia. Typowym produktem jest Busch RA0020F (prędkość pompowania 20 m³/h, ciśnienie końcowe 0,1 mbar). Rozwój technologiczny koncentruje się na miniaturyzacji, efektywności energetycznej i inteligencji, obejmując technologię lewitacji magnetycznej, technologię-bezolejowego smarowania i konstrukcję przyjazną dla środowiska. Główne zastosowania obejmują sprzęt medyczny (urządzenia odsysające, wentylatory), monitorowanie środowiska, produkcję półprzewodników i nowy przemysł energetyczny. Przewidywano, że wielkość rynku krajowego w 2024 r. osiągnie 5 miliardów juanów.